Journées d'études sur la gravure sèche en microélectronique (02 ; 1983 ; Grenoble)

Pays :France
Langue :français
Création :22-11-1983
Fin d'activité :24-11-1983

Ses activités

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  • Secondes Journées d'études sur la gravure sèche en microélectronique

    22 au 24 novembre 1983... Grenoble...

    Description matérielle : 270 p.
    Description : Note : Suppl. à :". Le Vide, les couches minces ". 0223-4335 . 218 . 1983. - Notes bibliogr.. - Textes en anglais et en français
    Édition : Paris : Société française du vide , 1983
    Éditeur scientifique : Société française du vide

    [catalogue][https://catalogue.bnf.fr/ark:/12148/cb347493557]

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