Antoine Durandet

Pays :France
Langue :français
Note :
Titulaire d'un doctorat d'université en microélectronique (Grenoble 1, 1987)
ISNI :ISNI 0000 0000 0183 6230

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  • Excitateurs pour plasma multipolaire micro-onde

    application à la réalisation d'un réacteur de gravure en microélectronique

    Description matérielle : 1 microfiche
    Édition : Grenoble 2 : ANRT , 1987

    [catalogue][http://catalogue.bnf.fr/ark:/12148/cb376047786]

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Sources de la notice

  • Excitateurs pour plasma multipolaire micro-onde : application à la réalisation d'un réacteur de gravure en microélectronique / Antoine Durandet, 1987 [thèse univ.]

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