NATO advanced research workshop on nanolithography, a borderland betwen STM, EB, IB, and X-ray lithographies (1993 ; Frascati, Italie)

Pays :intergouvernemental
Langue :anglais
Création :06-04-1993
Fin d'activité :08-04-1993

Ses activités

Auteur du texte1 document

  • Nanolithography

    a borderland between STM, EB, IB, and X-ray lithographies, [proceedings of the NATO advanced research workshop on nanolithography, a borderland between STM, EB, IB, and X ray lithographies, Frascati, Roma, Italy, April 6-8, 1993]

    Description matérielle : XII-215 p.
    Description : Note : Bibliogr. à la fin de chaque texte. Index
    Édition : Dordrecht ; Boston ; London : Kluwer academic publ. , cop. 1994
    Éditeur scientifique : Massimo Gentili, Carlo Giovannella, Stefano Selci

    [catalogue][http://catalogue.bnf.fr/ark:/12148/cb374630031]

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Sources de la notice

  • Nanolithography, a borderland betwen STM, EB, IB, and X-ray lithographies, 1994

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