Harry J. Levinson

Pays :États-Unis
Langue :anglais
Note :
Spécialiste en microlithographie
ISNI :ISNI 0000 0000 3331 9297

Ses activités

Auteur du texte2 documents

  • Lithography process control

    Description matérielle : X-190 p.
    Description : Note : Bibliogr. p. 169-188. Index
    Édition : Bellingham (Wash.) : SPIE optical engineering press , cop. 1999

    [catalogue][http://catalogue.bnf.fr/ark:/12148/cb37549136g]
  • Principles of lithography

    Second edition
    Description matérielle : 1 vol. (XII-423 p.- 4 p. de pl.)
    Description : Note : Notes bibliogr. Index
    Édition : Bellingham, WA : SPIE Press , cop. 2005

    [catalogue][http://catalogue.bnf.fr/ark:/12148/cb412928177]

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Sources et références

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Sources de la notice

  • Lithography process control / Harry J. Levinson, 1999
  • LCNA (en ligne - Internet), 1999-12-14

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