Bouarfa Mahi

Langue :français
Note :
Titulaire d'un doctorat de 3e cycle en microélectronique (Grenoble 2, 1986)
ISNI :ISNI 0000 0000 0205 0520

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  • Caractérisation d'un plasma multipolaire microonde de SF dilué

    corrélation entre flux d'espèces incidentes et cinétiques de gravure de silicium

    Description matérielle : 1 microfiche
    Édition : Grenoble 2 : ANRT , 1986

    [catalogue][https://catalogue.bnf.fr/ark:/12148/cb37599349d]

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Sources et références

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Sources de la notice

  • Caractérisation d'un plasma multipolaire microonde de SF dilué / Bouarfa Mahi, 1986 [thèse 3e cycle]

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