Pulvérisation cathodique

Thème :Pulvérisation cathodique
Origine :RAMEAU - Notice originale
Autre forme du thème :Projection cathodique

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  • MIATEC 2015-Reactive sputter deposition

    4th Magnetron, ion processing & arc technologies European conference [and] 14th International symposium on reactive sputter deposition, 8-11 December 2015, CNAM, Paris (F), abstract booklet

    Description matérielle : 1 vol. (142 p.)
    Description : Note : Notes bibliogr.
    Édition : Paris : Société française du vide , cop. 2015
    Éditeur scientifique : Société française du vide
    Auteur du texte : International symposium on reactive sputter deposition (14 ; 2015 ; Paris), Magnetron, ion processing and arc technologies European conference (04 ; 2015 ; Paris)

    [catalogue][https://catalogue.bnf.fr/ark:/12148/cb44483970r]
  • Glow discharge processes

    sputtering and plasma etching

    Description matérielle : XV-406 p.
    Description : Note : Textes tirés d'une série de séminaires tenus en 1978 et 1979. - Bibliogr. à la fin de chaque chap. et p. 397-400. Index
    Édition : New York ; Chichester ; Brisbane [etc.] : J. Wiley & sons , cop. 1980
    Auteur du texte : Brian N. Chapman

    [catalogue][https://catalogue.bnf.fr/ark:/12148/cb37452075f]
  • Ion beam assisted film growth

    Description matérielle : 1 ressource dématérialisée
    Description : Note : Includes bibliographical references and indexes
    Édition : Amsterdam ; New York : Elsevier , 1989

    [catalogue][https://catalogue.bnf.fr/ark:/12148/cb44648448x]
  • Ion beam modification of insulators

    Description matérielle : XXV-740 p.
    Description : Note : Bibliogr. à la fin de chaque chap. Index
    Édition : Amsterdam ; Oxford ; New York : Elsevier , 1987
    Éditeur scientifique : George W. Arnold, Paolo Mazzoldi

    [catalogue][https://catalogue.bnf.fr/ark:/12148/cb37371937c]
  • Plasma processing for VLSI

    Description matérielle : 1 ressource dématérialisée
    Description : Note : Includes bibliographical references and index
    Édition : New York : Academic Press , 1984

    [catalogue][https://catalogue.bnf.fr/ark:/12148/cb446321891]

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